简介
电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗与蚀刻,其纯度与洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗与浊刻(称为IC级)。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也就是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂与光纤玻璃原料等。
产业链
制作工艺
电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到,也可由成品磷酸净化精制而得,制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量与颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:1)用高纯磷制备电子级磷酸;2)用高纯三氯化磷制备电子级磷酸;3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:1)磷酸的净化精制法;2)有机溶剂萃取法;3) ①冷冻结晶法;②熔融结晶法;5)其她净化法其她的净化方法有电渗析:①电渗析法;② 膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准
国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8与SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ与BV- Ⅳ四个等级,BV-Ⅲ 级已达到国际 SEMI -C7质量标准,适用于018～112μm工艺技术的加工制作,这就是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
